+7-495-926-02-15

Высокоэнергетичный ионный источник (УАС)

Высокоэнергетичный ионный источник (УАС)

Запросить стоимость
 

Ионный источник выполнен на основе магнитной системы, имеющей конфигурацию типа "рейстрек" (ускоритель с анодным слоем).

Данный ионный источник предназначен для ионной активации подложек, азотирования, реактивного травления и других технологических процессов.

Технические характеристики

Максимальный ток анода, А 0,35
Номинальный ток анода, А 0,1...0,3
Напряжение питания анода, В 1000...4000
Ток катода, А 0...40
Диапазон рабочих давлений (в среде аргона), Па 5х10-1...3х10-2
Уровень пульсаций напряжения анода, не более 5%
Габариты ионного источника, мм 950х170х60
Габариты блока питания ШхВхД, мм 482 х 3U (132,5 мм) х 515
Масса блока питания, кг 20
Индикация выходного тока и напряжения цифровая
Погрешность измерения тока и напряжения не более 2%