Высокоэнергетичный ионный источник (УАС)
Запросить стоимостьИонный источник выполнен на основе магнитной системы, имеющей конфигурацию типа "рейстрек" (ускоритель с анодным слоем).
Данный ионный источник предназначен для ионной активации подложек, азотирования, реактивного травления и других технологических процессов.
Технические характеристики
Максимальный ток анода, А | 0,35 |
Номинальный ток анода, А | 0,1...0,3 |
Напряжение питания анода, В | 1000...4000 |
Ток катода, А | 0...40 |
Диапазон рабочих давлений (в среде аргона), Па | 5х10-1...3х10-2 |
Уровень пульсаций напряжения анода, | не более 5% |
Габариты ионного источника, мм | 950х170х60 |
Габариты блока питания ШхВхД, мм | 482 х 3U (132,5 мм) х 515 |
Масса блока питания, кг | 20 |
Индикация выходного тока и напряжения | цифровая |
Погрешность измерения тока и напряжения | не более 2% |