Семейство вакуумных установок BRV 700-D
Запросить стоимостьНа основе BRV 700-D реализуются практически любые технические направления, которые могут быть решены вакуумно-дуговым методом нанесения функциональных покрытий с возможностью ионного ассистирования.
Вакуумная установка состоит из:
- вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 700×700 мм с двойной сплошной рубашкой охлаждения;
- двери вакуумной камеры из нержавеющей стали, с установленным пирометром и кварцевым иллюминатором с заслонокой;
- каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;
- технологической оснастки с двойным планетарным вращением;
- шести нагревателей;
- системы откачки, включающей в себя форвакуумный и байпасный клапаны;
- системы управления;
- гидро-пневмосистемы;
- четырех дуговых испарителей;
- трех датчиков низковакуумных;
- клапана напуска воздуха в камеру;
- датчика высоковакуумного;
- затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом;
- турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе;
- 17-дюймового панельного компьютера;
- насоса Рутса;
- насоса пластинчато-роторного;
- двух низкоэнергетичных ионных источников для ионной очистки и ассистирования с блоками питания;
- четырех блоков питания дуговых испарителей;
- трех расходомеров;
- изолированного, водоохлаждаемого ввода вращения;
- четырех блоков поджига дуговых испарителей;
- одного колена 90°;
- контроллера турбомолекулярного насоса;
- блока подачи отрицательного потенциала смещения на технологическую оснастку.
Более подробно ознакомиться с вакуумной установкой типа BRV 700-D вы можете, скачав ее описание по ссылке ниже:
Технические характеристики
Неравномерность нанесения покрытий по вертикали | не более 5% |
Скорость нанесения TiN, мкм/час | не менее 4 |
Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг | не более: 500 |
Средний уровень шума, дБа | не более 75 |
Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет | не менее 8 |
Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт | не более 30 |
Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2 | не более 5 |
Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В | 2145×2160×2000 |
Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг | не более 1320 |