+7-495-926-02-15

Семейство вакуумных установок BRV 750-M
Семейство вакуумных установок BRV 750-M 1 2 3

Семейство вакуумных установок BRV 750-M

Запросить стоимость
 

На основе BRV 750-M реализуются практически любые технические направления, которые могут быть решены магнетронным методом нанесения функциональных покрытий с возможностью ионного ассистирования.

Вакуумная установка состоит из:

  • вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 750×1000 мм с двойной сплошной рубашкой охлаждения;
  • двери вакуумной камеры из нержавеющей стали, с установленными пирометром и заслонкой;
  • кварцевого иллюминатора;
  • каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;
  • защитно-декоративных панелей с блокирующими замками;
  • технологической оснастки с двойным планетарным вращением;
  • системы нагрева на основе ТЭНов из нержавеющей стали;
  • системы откачки, включающей в себя форвакуумный, байпасный и аварийный клапаны;
  • системы управления;
  • гидро-пневмосистемы;
  • двух пар дуальных магнетронов;
  • трех датчиков низковакуумных;
  • клапана напуска воздуха в камеру;
  • датчика высоковакуумного, датчика средневакуумного;
  • затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом;
  • турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе;
  • источника бесперебойного питания для турбомолекулярного насоса и системы управления;
  • 17-дюймового панельного компьютера;
  • агрегата форвакуумного «сухого»;
  • высокоэнергетичного ионного источника типа УАС для ионной очистки, ассистирования;
  • блока питания ионного источника;
  • блоков питания магнетронов;
  • трех расходомеров РРГ10 и блока управления расходомерами;
  • изолированного привода вращения;
  • комплекта внутрикамерных экранов из нержавеющей стали;
  • комплекта заслонок магнетронов с пневмопривоводом;
  • встроенного компрессора.

Более подробно ознакомиться с вакуумной установкой типа BRV 750-M вы можете, скачав ее описание по ссылке ниже:

Описание BRV 750-M

Технические характеристики

Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более 5%
Скорость нанесения, мкм/час не менее 4
Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг не более 200
Средний уровень шума, дБа не более 75
Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет не менее 8
Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт не более 30
Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2 не более 5
Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В 2150×1760×2000
Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг не более 1320