Низкоэнергетичный ионный источник «АИДА»

Низкоэнергетичный ионный источник «АИДА» представляет собой торцевой холловский ускоритель, предназначенный для ионной активации подложек и ионного ассистирования при осаждении вакуумных покрытий, а также для реактивного травления, прокисления, азотирования и других технологических процессов.

Технические характеристики

Максимальный ток анода, А	5
Номинальный ток анода, А	2...4
Напряжение питания анода, В	0...250
Ток катода, А	0...30
Ток соленоида, А	0,1...5,0
Диапазон рабочих давлений (в среде аргона), Па	5х10-1...3х10-2
Уровень пульсаций напряжения анода	не более 5%
Уровень пульсаций напряжения соленоида	не более 5%
Габариты ионного источника, мм	235х163
Габариты блока питания, ШхВхД, мм	482 х 3U (132,5 мм) х 515
Масса ионного источника, кг	14
Масса блока питания, кг	16
Индикация выходного тока и напряжения	цифровая
Погрешность измерения тока и напряжения	не более 2%